Ковальчук, И.К.; Левенец, В.В.; Омельник, А.П.; Щур, А.А.; Широков, Б.М.
(Физическая инженерия поверхности, 2007)
Метод ХРИ и деконволюционная процедура на основе алгоритма максимального правдоподобия была применена для неразрушающего 3D исследования образцов сплава Si-Ge, полученного методом CVD. Показано, что разработанная технология ...