Шулаев, В.М.; Андреев, А.А.; Руденко, В.П.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6,
для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего ...