Дудин, С.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
Описана система автоматического мониторинга технологического процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда, позволяющая в условиях
интенсивных ВЧ помех измерять основные параметры процесса, ...