Антоненко, А.Л.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность ...