Сагалович, А.В.; Сагалович, В.В.; Дудин, С.В.; Фареник, В.И.
(Физическая инженерия поверхности, 2014)
Выполнены зондовые измерения параметров различных источников технологической плазмы, используемых в вакуум-плазменных технологиях при реактивном нанесении покрытий и диффузионном насыщении металлов. Проведен сравнительный ...