Белоус, В.А.; Лунёв, В.М.; Носов, Г.И.; Куприн, А.С.; Толмачёва, Г.Н.; Колодий, И.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2013)
Отработана методика легирования TiN покрытий путём одновременного распыления мишеней
из Ti и Si ионами азота и аргона, генерируемыми источником газовой плазмы (ИГП). Наибольшее значение твёрдости (∼33 ГПа) достигалось ...