Зубко, Є.І.
(Физическая инженерия поверхности, 2013)
Показана можливість створення багатошарових покрить шляхом модифікування методики
електролітичного травлення поверхні монокристалічного кремнію. При травленні використовували добавки HСl і HBr. Методами електронної ...