Грицына, В.И.; Дудник, С.Ф.; Кошевой, К.И.; Опалев, О.А.; Стрельницкий, В.Е.
(Физическая инженерия поверхности, 2012)
Приведены экспериментальные результаты исследования влияния величины тока разряда и состава газовой фазы с относительно низким содержанием аргона на кинетику процесса синтеза в плазме тлеющего разряда легированных азотом ...