Остафійчук, Б.К.; Гарпуль, О.З.; Пилипів, В.М.; Яремій, І.П.; Куровець, В.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Представлено результати досліджень приповерхневих шарів плівок ЗІҐ, імплантованих іонами Si⁺ дозою 5⋅10¹³ см⁻² в діапазоні енергій 100 – 150 кеВ. Математичне моделювання процесу іонноі імплантації показало, що утворення ...