Хороших, В.М.; Леонов, С.А.; Носов, Г.И.
(Физическая инженерия поверхности, 2010)
Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой ...