Анотація:
Описаны микровыключатели, изготовленные с применением микро- и нанотехнологий (примеры конструкций, характеристики, использованные контактные материалы, значения сил контактного нажатия и разрыва контактов); изложены мнения авторов о стабильности характеристик и проценте выхода годных изделий.