Анотація:
Представлен обзор информационных источников по физико-химическим процессам формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃). Установлено, что невозможно обеспечить необходимые требования к состоянию их поверхностей до уровня “атомно-гладких” без физико-химического взаимодействия обрабатывающего и обрабатываемого материалов на заключительном этапе обработки — трибохимическом полировании.