Микросборка на кремниевой плате для акселерометра

dc.contributor.author	Спирин, В.Г.
dc.date.accessioned	2014-02-16T23:48:29Z
dc.date.available	2014-02-16T23:48:29Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 24-27. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56366
dc.description.abstract	Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях.	uk_UA
dc.description.abstract	Розглянуто конструкцію і технологію мікрозборки для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями комутації та тонкоплівковими резисторами на обох її поверхнях.	uk_UA
dc.description.abstract	The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Функциональная микро- и наноэлектроника	uk_UA
dc.title	Микросборка на кремниевой плате для акселерометра	uk_UA
dc.title.alternative	Мікрозборка на кремнієвій платі для акселерометра	uk_UA
dc.title.alternative	Microassembly on silicon board for accelerometer	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.3.049.776