Спирин, В.Г.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013)
Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях.