Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe

dc.contributor.author	Дружинин, А.А.
dc.contributor.author	Островский, И.П.
dc.contributor.author	Матвиенко, С.М.
dc.contributor.author	Вуйцик, А.М.
dc.date.accessioned	2014-01-25T20:59:50Z
dc.date.available	2014-01-25T20:59:50Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe / А.А. Дружинин, И.П. Островский, С.М. Матвиенко, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 24-26. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53678
dc.description.abstract	Предложен интеллектуальный датчик для измерения давления и температуры с коррекцией характеристик кремниевых измерительных тензорезисторов по температуре.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Сенсоэлектроника. Датчики	uk_UA
dc.title	Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe	uk_UA
dc.title.alternative	Багатофункціональний датчик тиску та температури на основі твердих розчинів SiGe	uk_UA
dc.title.alternative	Multifunctional sensor of pressure and temperature based on Si-Ge whiskers	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA