Болтовец, Н.С.; Борисенко, А.Г.; Иванов, В.Н.; Федорович, О.А.; Кривуца, В.А.; Полозов Б.П.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Представлены результаты исследования и оптимизации процесса формирования карбидокремниевой мезаструктуры для p-i-n-диода на промышленной технологической базе. Исследованы характеристики диодов в интервале температуры 25-500 °С.