Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

dc.contributor.author	Брус, В.В.
dc.contributor.author	Ковалюк, З.Д.
dc.contributor.author	Марьянчук, П.Д.
dc.contributor.author	Орлецкий, И.Г.
dc.contributor.author	Майструк, Э.В.
dc.date.accessioned	2013-12-22T01:21:36Z
dc.date.available	2013-12-22T01:21:36Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51988
dc.description.abstract	Исследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства.	uk_UA
dc.description.abstract	Досліджено вольт-амперні характеристики металевих кон тактів (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких плівках діоксиду титану, а також вплив відпалу структур у вакуумі на їх електричні ластивості. Вимірювання ВАХ металевих контактів проодилися за допомогою трьохзондового методу. Встановлено, що контакт індію на тонких плівках TiO₂ відзначається чітко вираженими омічними властивостями.	uk_UA
dc.description.abstract	The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO₂ thin films possessed sharply defined ohmic properties.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Материалы электроники	uk_UA
dc.title	Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления	uk_UA
dc.title.alternative	Властивості металічних контактів на плівках TiO₂, виготовлених методом реактивного магнетронного розпилення	uk_UA
dc.title.alternative	The properties of metal contacts on TiO₂ thin films produced by reactive magnetron sputtering	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA