Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Інші назви:
Широкоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацією
RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation
RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
Дата:
2010
Переглядів:
856
Завантажень:
651
Анотація:
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.
