Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

Васильев, Ю.К. ; Нестеров, С.Б. ; Васильева, Т.С.

Інші назви: Тенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакууму
New trends in oil free vacuum generation equipment

Тема: Обеспечение тепловых режимов

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51910

Посилання: Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Дата: 2010

Завантажень: 1014

Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

Анотація:

Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.

Показати повний запис статті