Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм

Репозиторій DSpace/Manakin

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис