Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем

dc.contributor.author	Дранчук, С.Н.
dc.contributor.author	Завадский, В.А.
dc.contributor.author	Мокрицкий, В.А.
dc.date.accessioned	2013-12-07T01:29:35Z
dc.date.available	2013-12-07T01:29:35Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51713
dc.description.abstract	Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано практическое применение обнаруженного явления.	uk_UA
dc.description.abstract	Розроблено дифузійну модель рідиніюфазиої епітаксії двошарової системи в умовах зміни швидкості охолодження розчину-розплаву. Виявлено, що після припинення охолодження перехідний процес продовжується, за рахунок чого продовжується і зростання шару. Цей ефект пов'язаний з припущенною інерційністю процесу дифузії. Показано практичне застосування виявленого явища.	uk_UA
dc.description.abstract	A liquid phase epitaxy diffusion model of a two-layer system at instable cooling speed of the solution-melt has been developed. It was discovered that the transition process continues even after the termination of cooling, clue to which the layer growth continues as well. This effect is connected with to the hypothetical inertia of the diffusion process. The practical application of this phenomenon is shown.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем	uk_UA
dc.title.alternative	Массоперенос при рідиннофазній епітаксії двошарових систем	uk_UA
dc.title.alternative	Mass transfer in liquid-phase epitaxy of two-layer systems	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.362:621.383