Кулинич, О.А.; Яцунский, И.Р.; Ештокина, Т.Ю.; Брусенская, Г.И.; Марчук, И.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
Показана возможность использования метода фотолюминесценции для изучения механизмов пластической деформации на границе «оксид кремния — кремний» в процессе получения слоев наноструктурированного кремния деформационным методом.