Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів

Abstract

Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2.

The article is devoted to the problems of creation of piezoscanners. Offered and probed construction of piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements. Built and probed model of this scanner with a help the package of the program FemLab 3.2.