В статті представлено розроблені моделі акустичних елементів МЕМС на
основі теорії тонких пластин і наведені результати їх аналізу. Побудовані моделі
дають змогу врахувати нелінійні, нестаціонарні процеси та ізотропію матеріалу
пружного елемента.
The developed models of acoustic elements of MEMS are presented on the basis
of theory of laminas and the results of their analysis are presented in the article. The
built models enable to take into account nonlinear, transients and isotrophia of
material of resilient element.