Тарік Алі Аль Омарі; Теслюк, В.М.; Мельник, М.Р.
(Моделювання та інформаційні технології, 2009)
В статті представлено розроблені моделі акустичних елементів МЕМС на
основі теорії тонких пластин і наведені результати їх аналізу. Побудовані моделі
дають змогу врахувати нелінійні, нестаціонарні процеси та ізотропію ...