Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride

Репозиторій DSpace/Manakin

Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис