The microrelief studies of stainless steel mirrors sputtered with Ar⁺ ions of different energy

Abstract

Four stainless steel mirror specimens were sputtered to an identical mean thickness of the eroded layer 2 μm with Ar⁺ ions. Each specimen was exposed to ions with one kinetic energy from the followings: 300, 600, 1000, and 1350 eV. With the methods of microscopy and profilometry of microrelief the positive correlation was shown between the r. m. s. roughness, the power spectral density of the Fourier spectrum of the longitudinal wavelengths, on one hand, and the energy of ions, on the other hand.

Чотири зразки дзеркал із нержавіючої сталі були розпилені до однакової середньої товщини еродованого шару 2 мкм іонами Ar⁺ . Кожен зразок експонувався до іонів з наступною кінетичною енергією:300, 600, 1000 і 1350 еВ. З використанням методів мікроскопії і профілометрії мікрорельєфу було показано позитивну кореляцію між середньоквадратичною шорсткістю, спектральною густиною потужності спектра Фур'є поздовжніх довжин хвиль з одного боку, та енергією іонів з іншого боку

Четыре образца зеркал из нержавеющей стали были распылены до одинаковой средней толщины эродированного слоя 2 мкм ионами Ar⁺ . Каждый образец экспонировался к ионам со следующей кинетической энергией: 300, 600, 1000 и 1350 эВ. С использованием методов микроскопии и профилометрии микрорельефа была показана положительная корреляция между среднеквадратичной шероховатостью, спектральной плотностью мощности спектра Фурье продольных длин волн с одной стороны, и энергией ионов с другой стороны.