Light scattering in silicon carbide nanocrystalline films

Abstract

The possibility of light scattering investigation in nanocrystalline SiC films has been studied. The scattering type and wavelength ranges where the absorption or scattering prevails have been determined. The particle sizes calculated from scattering spectra (10 and 19 nm) agree well with SiC crystallite sizes estimated from the structure analysis data.

Вивчено можливість спектрофотометричного дослідження ефектів розсіювання світла у плівках нанокристалічного SiC. Визначено тип розсіювання та діапазони довжин хвиль, де переважає поглинання або розсіяння. Розраховані розміри часток (10 та 19 нм) добре узгоджуються з оцінками розмірів кристалітів SiC за даними структурних вимірювань.

Изучена возможность исследования эффектов рассеяния в плёнках нанокристаллического SiC. Определен тип рассеяния и диапазоны длин волн, в которых превалирует поглощение или рассеяние. Рассчитанные по спектрам рассеяния размеры частиц (10 и 19 нм) хорошо согласуются с оценками размеров кристаллитов карбида кремния по данным структурных измерений.