Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізико-технічних проблем матеріалознавства
→
Functional Materials
→
Functional Materials, 2010, том 17
→
Functional Materials, 2010, № 2
→
Переглянути статтю

Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering

Zayats, M.S. ; Boiko, V.G. ; Gentsar, P.O. ; Vuichyk, M.V. ; Lytvyn, O.S. ; Stronski, A.V.

Інші назви: Оптичні властивості плівок AlN/n-Si(111) отриманих методом високочастотного реактивного магнетронного розпилення

Тема: Characterization and properties

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135183

Посилання: Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Дата: 2010

Завантажень: 223