Образование частиц шлама и износа полировального порошка при полировании нитрида алюминия

Abstract

В результате исследования закономерностей образования продуктов износа при полировании нитрида алюминия суспензией порошков нитрида бора показано, что общее количество частиц шлама и частиц износа полировального порошка в 10⁵ раз больше, чем зерен полировального порошка, а их общий объем в 10 раз меньше.

У результаті дослідження закономірностей утворення продуктів зносу при поліруванні нітриду алюмінію суспензією порошків нітриду бору показано, що загальна кількість частинок шламу та частинок зносу полірувального порошку в 10⁵ разів більша, ніж зерен полірувального порошку, а їх загальний об’єм в 10 разів менший.

As a result of studying the patterns of formation of nasal products during the polishing of aluminum nitride with a suspension of boron nitride powders, it was shown that the total amount of sludge particles and wear particles of a polishing powder is 10⁵ times larger than polishing powder grains, and their total volume is 10 times smaller.