Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь

Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь

Соколюк, Д.В. ; Куцай, О.М. ; Старик, С.П. ; Ткач, В.М. ; Стаценко, О.О. ; Білорусець, В.В.

Тема: Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/134875

Посилання: Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.

Дата: 2014

Завантажень: 369