Бордун, О.М.; Бордун, Б.О.; Кухарський, І.Й.; Медвідь, І.І.; Цаповська, Ж.Я.; Леонов, Д.С.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2017)
Досліджено структуру, фазовий склад і морфологію поверхні тонких плівок β-Ga₂O₃, одержаних методом високочастотного йонно-плазмового розпорошення. Встановлено, що свіжонапорошені плівки формуються з кристалітів, середній ...