Микроскоп МКИ-2М

dc.date.accessioned	2017-07-17T14:52:54Z
dc.date.available	2017-07-17T14:52:54Z
dc.date.issued	1999
dc.identifier.citation	Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690
dc.description.abstract	Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Научно-промышленные центры СНГ	uk_UA
dc.title	Микроскоп МКИ-2М	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA