Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 1. Огляд

Abstract

Проведено огляд результатів досліджень залишкових напружень у вакуум-плазмових покриттях, отриманих методами фізичного осадження. Проаналізовано дані щодо характеру залишкових напружень та фактори, які впливають на їх величину і розподіл. Розглянуто роботи, в яких досліджується вплив залишкових напружень на фізико-механічні характеристики системи основа–покриття. Зроблено висновки щодо подальшого вивчення залишкових напружень у PVD-покриттях та вдосконалення управління їхнім рівнем.

Выполнен обзор результатов исследований остаточных напряжений в вакуумплазменных покрытиях, полученных методами физического осаждения. Проанализированы данные о характере остаточных напряжений и факторы, которые влияют на их величину и распределение. Рассмотрены работы, в которых исследуется влияние остаточных напряжений на физико-механические характеристики системы основа–покрытие. Показана необходимость дальнейшего изучения остаточных напряжений в PVD-покрытии и усовершенствования путей управления их уровнем.