Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства

Abstract

Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB₂-TiSi₂, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование таких покрытий в качестве диффузионных барьеров как в виде самостоятельных элементов, так и в качестве контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях.

Методом магнетронного розпилення мішені, що складається з AlN-TiB₂-TiSi₂, отримані покриття зі значенням індексу в’язкопластичності 0,07 при твердості Н = 15,3 ГПа, що забезпечує високі демпфуючі властивості такого покриття, при цьому аморфноподібна структура представляє перспективним застосування таких покриттів в якості дифузійних бар’єрів як самостійних елементів, та і в якості контактуючого шару в багатошарових зносостійких покриттях.

By magnetron sputtering of target consisting of AlN-TiB₂-TiSi₂ the coatings with value of the index viscoplastic 0,07 at a hardness of H = 15,3 GPa were obtained that provides high damping properties of the coating, and amorphous like structure makes promising the use of these coatings as diffusion barriers in the form of independent elements, and as a contacting layer in multilayer wear resistant coatings.