Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2007
→
Вопросы атомной науки и техники, 2007, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Аксёнов, Д.С.
dc.contributor.author	Аксёнов, И.И.
dc.contributor.author	Стрельницкий, В.Е.
dc.date.accessioned	2017-01-05T20:43:32Z
dc.date.available	2017-01-05T20:43:32Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 190-202. — Бібліогр.: 60 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110662
dc.description.abstract	Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических процессах осаждения плёнок микро- и нанометрового диапазонов толщин. Использованы материалы патентов и журнальных статей, опубликованных в период с середины 1970-х годов по настоящее время.	uk_UA
dc.description.abstract	Коротко розглянуто сучасний стан проблеми генерування потоків ерозійної вакуумно-дугової плазми, очищеної від макрочасток катодного матеріалу. Наведено реферативні описи 27 вакуумно-дугових джерел плазми з магнітними фільтрами, призначених для використання в технологічних процесах осадження плівок мікро- та манометрового діапазонів товщин. Використано матеріали патентів та журнальних статей, опублікованих в період з середини 1970-х років до теперішнього часу.	uk_UA
dc.description.abstract	The present state of the problem to rid cathodic vacuum arc erosive plasma flows of macro- and nanoparticlesis briefly considered. In this paper there are presented abstract of 27 vacuum arc plasma sources equipped with magnetic filter, which are designed for use in technological processes of deposition of films of micro- and nanometer range of thickness. The data of patents and journal papers issued since the middle of the 1970th till present are used in this review.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий	uk_UA
dc.title	Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор	uk_UA
dc.title.alternative	Вакуумно-дугові джерела ерозійної плазми з магнітними фільтрами: огляд	uk_UA
dc.title.alternative	Filtered vacuum arc erosive plasma sources: a review	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.793