Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Зыков, А.В. | |
| dc.contributor.author | Дудин, С.В. | |
| dc.contributor.author | Яковин, С.Д. | |
| dc.date.accessioned | 2016-11-14T18:27:40Z | |
| dc.date.available | 2016-11-14T18:27:40Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1999-8074 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726 | |
| dc.description.abstract | Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Физическая инженерия поверхности | |
| dc.title | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления | uk_UA |
| dc.title.alternative | Стаціонарні режими магнетронного розряду низького тиску | uk_UA |
| dc.title.alternative | Steady-state regimes of low-pressure magnetron discharge | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.identifier.udc | 533.9 |
