Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Металлофизика и новейшие технологии
→
Металлофизика и новейшие технологии, 2014 (том 36)
→
Металлофизика и новейшие технологии, 2014, № 05
→
Переглянути статтю

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления

Гончаров, А.А. ; Добровольский, А.Н. ; Костин, Е.Г. ; Петрик, И.С. ; Фролова, Е.К.

Інші назви: Структура та фотокаталітичні властивості наноплівок діоксиду титану, осаджених методом реактивного магнетронного напилення
Structure and Photocatalytic Properties of Titania Nanofilms Deposited by Reactive Magnetron Sputtering

Тема: Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов

Інший ID: PACS: 68.37.Ps, 68.47.Gh, 68.55.J-, 78.20.Ci, 78.30.Hv, 81.15.Gh, 82.50.-m
DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.05.0613

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106944

Посилання: Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, Е.Г. Костин, И.С. Петрик, Е.К. Фролова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 5. — С. 613–632. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Підтримка: Работа была частично поддержана грантом Президиума НАН Украины № 86-Н-13. Авторы выражают признательность сотрудникам центра коллективного пользования при Институте физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва НАН Украины за помощь в получении результатов атомно-силовой микроскопии. Авторы благодарны А. В. Демчишину и его сотрудникам за неоценимый вклад в создание цилиндрического магнетрона и напылительной установки. Авторы также выражают благодарность И. В. Блонскому и его сотрудникам за решающий вклад в создание оптического спектрометра и его программного обеспечения.

Дата: 2014

Завантажень: 553

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления

Анотація:

Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO₂ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии, рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроскопии. Полученные результаты показали существенное влияние условий осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую активность.

Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших цікавих та привабливих властивостей для використання в промисловості. Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO₂ в циліндричному газовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості.

Titanium dioxide is the environmentally friendly photocatalyst with many interesting and attractive properties for industrial applications. We describe the reactive deposition of TiO₂ nanofilms by inverted gas cylindrical DC magnetron. The obtained samples are characterized by means of ellipsometry, Raman spectroscopy, AFM, and optical spectroscopy. The results show that structure, morphology, and photocatalytic activity of films vary with the variation of deposition conditions.

Показати повний запис статті