Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления

Abstract

Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO₂ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии, рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроскопии. Полученные результаты показали существенное влияние условий осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую активность.

Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших цікавих та привабливих властивостей для використання в промисловості. Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO₂ в циліндричному газовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості.

Titanium dioxide is the environmentally friendly photocatalyst with many interesting and attractive properties for industrial applications. We describe the reactive deposition of TiO₂ nanofilms by inverted gas cylindrical DC magnetron. The obtained samples are characterized by means of ellipsometry, Raman spectroscopy, AFM, and optical spectroscopy. The results show that structure, morphology, and photocatalytic activity of films vary with the variation of deposition conditions.