Першин, Ю.П.; Севрюкова, В.А.; Зубарев, Е.Н.; Оберемок, А.С.; Мельник, В.П.; Романюк, Б.Н.; Попов, В.Г.; Литвин, П.М.
(Металлофизика и новейшие технологии, 2013)
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.