Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами

Abstract

В обзорной статье рассмотрены закономерности формирования многоэлементных, композиционных покрытий, получаемых ионно-плазменными методами. Рассмотрены эффективные способы совершенствования свойств покрытий путем их легирования элементами переходных металлов. В качестве распыляемых катодов рассматриваются многоэлементные композиционные материалы. На основе проведенного анализа результатов исследований предложены физико-технологические принципы создания новых материалов в виде покрытий, обладающих высокими физико-механическими характеристиками.

В оглядовій статті розглянуті закономірності формування багатоелементних, композиційних покриттів, що одержуються іонно-плазмовими методами. Розглянуто ефективні способи вдосконалення властивостей покриттів шляхом їх легування елементами перехідних металів. В якості катодів, що розпилюються розглядаються багатоелементні композиційні матеріали. На основі проведеного аналізу результатів досліджень запропоновані фізико-технологічні принципи створення нових матеріалів у вигляді покриттів, яким властиві високі фізико-механічні характеристики.

This review article describes the laws of formation of multi-element and composite coatings obtained by means of ion-plasma methods. The effective methods to improve the properties of the coatings by doping them with transition metal elements have been considered. As the sputtered cathodes multielement composite materials have been considered. Physical and technological principles of obtaining new materials in the form of coatings with high physical and mechanical characteristics have been suggested basing on the analysis of research results