Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхностей

dc.contributor.author	Хороших, В.М.
dc.date.accessioned	2016-06-08T10:34:27Z
dc.date.available	2016-06-08T10:34:27Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхностей / В.М. Хороших // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 19-26. — Бібліогр.: 73 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101834
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхностей	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA