Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности

dc.contributor.author	Достанко, А.П.
dc.contributor.author	Бордусов, С.В.
dc.date.accessioned	2016-06-08T10:32:26Z
dc.date.available	2016-06-08T10:32:26Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности / А.П. Достанко, С.В. Бордусов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 7-18. — Бібліогр.: 72 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101833
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA