Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2013 (том 11)
→
Физическая инженерия поверхности, 2013, № 4
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Грицына, В.И.
dc.contributor.author	Дудник, С.Ф.
dc.contributor.author	Кошевой, К.И.
dc.contributor.author	Опалев, О.А.
dc.contributor.author	Решетняк, Е.Н.
dc.contributor.author	Стрельницкий, В.Е.
dc.date.accessioned	2016-05-24T12:45:53Z
dc.date.available	2016-05-24T12:45:53Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100591
dc.description.abstract	Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка.	uk_UA
dc.description.abstract	Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано, що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки.	uk_UA
dc.description.abstract	Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed. It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление	uk_UA
dc.title.alternative	Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір	uk_UA
dc.title.alternative	Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	537.534.2:679.826