Исследованы физико-механические характеристики слоёв, азотированных в газовом дуговом
разряде в среде азота при давлении 0,665 Па. Показано, что этот процесс зависит только от
концентрации атомарного азота и температуры подложки, то есть азотирование имеет место
при бомбардировке как ионами, так и электронами. Скорость азотирования одинакова в обоих
случаях. Бомбардировка ионами или электронами является только удобным инструментом
для обеспечения необходимой температуры подложки. Чистота обработки поверхности после
азотирования при электронной бомбардировке не изменяется.
Досліджено фізико-механічні характеристики
шарів, азотованих у газовому дуговому розряді в
середовищі азоту при тиску 0,665 Па. Показано,
що цей процес залежить тільки від концентрації
атомарного азоту і температури підкладки, тобто
азотування має місце при бомбардуванні як іонами, так і електронами. Швидкість азотування однакова в обох випадках. Бомбардування іонами
або електронами є тільки зручним інструментом
для забезпечення необхідної температури підкладки. Чистота обробки поверхні після азотування при електронному бомбардуванні не змінюється.
Physical and mechanical properties of the layers
nitrided in the gas arc discharge in the nitrogen
atmosphere under the pressure of 0,665 Pa are
investigated. It is shown that this process depends
only on the concentration of atomic nitrogen and
temperature of the substrate, i.e., nitration takes place
during the bombing with both ions and electrons.
The speed of nitration is identical in both cases. The
ion or electron bombardment is just a convenient
tool for achievening the necessary temperature of
the substrate. The clearance of surface treatment after
nitration during the electron bombardment does not
change.
