Приведены результаты исследования установки [1] о возможности получения многослойных многокомпонентных покрытий с регулируемым процентным соотношением компонентов. Анализ полученных
покрытий показал, что предложенный метод позволяет формировать многослойные многокомпонентные
покрытия с управляемой стехиометрией в процессе его формирования.
Наведені результати дослідження установки [1] про
можливості отримання багатошарових багатокомпонентних покриттів з регульованим відсотком компонентів. Аналіз отриманих покриттів показав, що запропонований метод дозволяє формувати багатошарові багатокомпонентні покриття з керованою стехіометрією в процесі його формування.
The results of research into an opportunity of obtaining
multilayered multicomponent coatings with an adjustable
percentage of components are presented. The analysis
of the coatings obtained has shown that the shudy
method – allows to form multilayered multicomponent
coa-tings with controlled stoichiometry during their
deposition.