Installation for gas-phase deposition of materials

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2004
→
Вопросы атомной науки и техники, 2004, № 1
→
Переглянути статтю

Installation for gas-phase deposition of materials

Lonin, Yu.F. ; Pilipets, Yu.O. ; Khovansky, N.A. ; Sheremet, V.I. ; Shirokov, B.M.

Інші назви: Установка для осадження матеріалів із газової фази
Установка для осаждения материалов из газовой фазы

Тема: Применение ускоренных пучков

Інший ID: PACS: 29.17.+w

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79080

Посилання: Installation for gas-phase deposition of materials / Yu.F.Lonin, Yu.O.Pilipets, N.A.Khovansky, V.I.Sheremet, B.M.Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 1. — С. 221-222. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Дата: 2004

Завантажень: 432

Installation for gas-phase deposition of materials

Анотація:

The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated.

Розроблена установка для газофазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку парагазової суміші в реакційному об’ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Досліджені процеси осадження вольфраму та карбіду бора.

Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических па- раметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Иссле- дованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.

Показати повний запис статті