Installation for gas-phase deposition of materials

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2004
→
Вопросы атомной науки и техники, 2004, № 1
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Lonin, Yu.F.
dc.contributor.author	Pilipets, Yu.O.
dc.contributor.author	Khovansky, N.A.
dc.contributor.author	Sheremet, V.I.
dc.contributor.author	Shirokov, B.M.
dc.date.accessioned	2015-03-25T20:50:35Z
dc.date.available	2015-03-25T20:50:35Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.citation	Installation for gas-phase deposition of materials / Yu.F.Lonin, Yu.O.Pilipets, N.A.Khovansky, V.I.Sheremet, B.M.Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 1. — С. 221-222. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.other	PACS: 29.17.+w
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79080
dc.description.abstract	The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated.	uk_UA
dc.description.abstract	Розроблена установка для газофазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку парагазової суміші в реакційному об’ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Досліджені процеси осадження вольфраму та карбіду бора.	uk_UA
dc.description.abstract	Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических па- раметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Иссле- дованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Применение ускоренных пучков	uk_UA
dc.title	Installation for gas-phase deposition of materials	uk_UA
dc.title.alternative	Установка для осадження матеріалів із газової фази	uk_UA
dc.title.alternative	Установка для осаждения материалов из газовой фазы	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA