Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Інші назви:
Кінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинах
Тема:
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
УДК:
621.382+681.3
Посилання:
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
Дата:
2003
Переглядів:
888
Завантажень:
754
Анотація:
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.
