Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

dc.contributor.author	Полтавцев, Ю.Г.
dc.contributor.author	Вирченко, П.Т.
dc.contributor.author	Костюк, В.В.
dc.date.accessioned	2014-11-11T15:18:18Z
dc.date.available	2014-11-11T15:18:18Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70725
dc.description.abstract	Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Интегральные схемы и полупроводниковые приборы	uk_UA
dc.title	Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах	uk_UA
dc.title.alternative	Кінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинах	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.382+681.3