Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
Інші назви:
Мережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівок
Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films
Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
697
Завантажень:
320
Анотація:
Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса.
